Özet:
Bu tez çalışmasında katkısız ve alkali metal (Li, Na) katkılı ZnO yarıiletken ince filmler çözelti metodu kullanılarak elde edildi. Li ve Na metallerinin molar oranlarının ZnO ince filmlerin fiziksel özellikleri üzerinde etkisi X-ışınları kırınımı analizi (XRD), UV-Vis Spektrometresi, Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) and Hall Effect ölçüm sistemi kullanılarak incelenmiştir. Geniş band yapılı ZnO yarıiletkeni (002) tercihli yönelime sahip hekzagonal polikristal yapılı bir yarıiletkendir. Na katkısının ZnO yarıiletkenin kristal yapısını bozduğu gözlenmiş iken Li katkısının kristal yapıyı güçlendirdiği gözlemlenmiştir. Yüzey analizleri XRDsonuçlarını desteklemektedir. Yine Li katkılı ZnO ince filmlerin geçirgenlik spektrumunda görünür bölgede ışığı daha fazla geçirdiği gözlemlenmiştir. Elektriksel ölçümler sonucunda Li katkılı ile birlikte ZnO ince filmlerin taşıyıcı yük yoğunluklarında artış meydana geldiği gözlemlenmiştir.
