Sol-jel yöntemiyle hazırlanan seramik ince filmlerin dielektrik özellikleri / Dielectric properties of ceramic thin films prepared by sol-gel method

Abstract

Bu çalışmada metal alkoksitler kullanılarak sol-jel yöntemiyle BaTiO3, SrTiO3, BaZrO3, ZnTiO3, ZrTiO4, ZrO2, La1/3Ca2/3MnO3, La1/3Ba2/3MnO3 ve La1/3Sr2/3MnO3' ın kimyasal çözeltileri hazırlandı. Daha sonra bu çözeltiler Ag, çelik, Cu ve cam alttaşlar üzerine daldırarak kaplama yöntemiyle kaplanarak ince filmler üretildi. İnce filmler 600ºC-700ºC sıcaklıklarda tavlandı. İnce filmlerde kristal yapının oluştuğu X ışınları kırınımı cihazı ile tespit edildi. Üretilen filmlerin kalınlıkları spektroskopik elipsometre ve mikrometre cihazıyla ölçüldü. Film kalınlıkları 40-80 µm ve 300-700 nm olarak bulundu. BaTiO3, SrTiO3, BaZrO3, ZnTiO3, ZrTiO4, ZrO2, La1/3Ca2/3MnO3, La1/3Ba2/3MnO3 ve La1/3Sr2/3MnO3 ince filmlerin kapasitansları bir kapasitometre aracılığıyla ölçüldü. Bu filmlerin yüzey alanları da hesaplanarak dielektrik sabitleri kapasitans ölçüm sistemi kullanılarak bulundu. In this study chemical solutions of BaTiO3, SrTiO3, BaZrO3, ZnTiO3, ZrTiO4, ZrO2, La1/3Ca2/3MnO3, La1/3Ba2/3MnO3 and La1/3Sr2/3MnO3 were prepared by sol?gel method using metal alkoxides. And these solutions were coated on Ag, steel, Cu and glass by dipcoating method to produce thin films. Thin films were annealed at 600ºC-700ºC temperatures. X-ray diffraction (XRD) showed that the crystal structure was occured. Thickness of thin films was measured by spectroscopic elipsometer and micrometer. Thickness of thin films was found as 40-80 µm and 300-700 nm. Capacitance of BaTiO3, SrTiO3, BaZrO3, ZnTiO3, ZrTiO4, ZrO2 , La1/3Ca2/3MnO3, La1/3Ba2/3MnO3 and La1/3Sr2/3MnO3 thin films were measured by capacitometer. And coated surface areas were calculated and dielectric constant of these films were found using measurement system of capacitance.